掃描電子顯微鏡的種類很多,不同種類的掃描電子顯微鏡在性能上也存在差異。根據(jù)電子槍的類型,可分為場發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭三種。其中,場發(fā)射掃描電子顯微鏡按光源的性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡需要高真空條件,光束不穩(wěn)定,發(fā)射器使用壽命短。需要定期清潔針尖。于單幅圖像觀察,應(yīng)用范圍有限;而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長,還可以與多種配件結(jié)合,實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域,我們不僅需要觀察樣品的初步形貌,還需要用分析儀分析樣品的其他性質(zhì),因此熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用更為廣泛。
掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器,廣泛用于觀察各種固體物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形貌和成分。
所謂掃描是指在圖像上從左到右、從上到下掃描圖像像素的工作過程。它是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)完成的,就像電視一樣,只是在結(jié)構(gòu)和部件上略有不同。
在電子掃描中,電子束從左到右的掃描運(yùn)動(dòng)稱為行掃描或水平掃描,電子束從上到下的掃描運(yùn)動(dòng)稱為幀掃描或垂直掃描。兩者的掃描速度*不同。行掃描速度比幀掃描速度快。對(duì)于 1000 行掃描圖像,速度比為 1000。
電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們通常談?wù)摰氖俏⑿〉?。在微觀世界里,這個(gè)微小的東西不叫微小。我們建議使用nano作為顯微鏡常用的測量單位,1nm=10-6mm。
掃描電子顯微鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,但透射電子顯微鏡的成像原理*不同。透射電子顯微鏡使用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電子顯微鏡不需要成像透鏡。圖像按一定的時(shí)間和空間順序逐點(diǎn)形成并顯示在顯微鏡的外管上。
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